錫球在芯片封裝中承擔電信號連接作用，被廣泛應用于BGA、CSP等微電子封裝領域。隨著芯片尺寸的減小及功能需求的增加，芯片對錫球材料、球徑、高度及共面度等指標要求日趨嚴格。為降低后道封裝成本，通常需要借助高精度的光學精密測量設備對芯片上錫球良率進行測量分析。

1 測量需求

錫球三維表面形貌和瑕疵檢測，測量錫球高度、圓度和直徑等關鍵指標。

2 測量方案

測試方法：垂直于機臺采集掃描晶圓點云，通過后處理測量軟件，獲取錫球三維表面形貌與瑕疵，計算錫球高度和共面標準差，生成測試分析報告。

3 測量結果

3D線光譜共焦傳感器將掃描獲取到的點云數(shù)據(jù)，實時傳輸至后處理軟件，并在界面上呈現(xiàn)出已掃描區(qū)域的點云數(shù)據(jù)，通過3D視圖窗口可查看錫球的三維表面形貌。

結合產(chǎn)品特點及客戶的檢測需求，我們可通過提取樣品全部錫球數(shù)據(jù)，計算各錫球?qū)嶋H高度、圓度和直徑，也可以最大值、最小值和均值等方式進行統(tǒng)計，計算錫球的高度標準偏差。

超高分辨、亞微米級高精度，誤檢率低；

同軸光測量，不受光強和被測物表面材質(zhì)影響，無測量盲區(qū)；

軟硬件一體化，支持多型號和多檢測場景，幫助降低生產(chǎn)成本。